[实用新型]一种半导体芯片用光阻液喷涂装置

权利要求书

1.一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内部安装有过滤机构(2)，所述外壳(1)的外壁一侧安装有回收机构(3)，所述回收机构(3)的外壁安装有出液口(4)，所述出液口(4)的底部安装有雾化头(5)，所述外壳(1)的顶部两侧均安装有调节机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：所述过滤机构(2)包括储液箱(201)、固定环(202)和滤网(203)，所述储液箱(201)安装在外壳(1)内部，所述储液箱(201)的内壁焊接有固定环(202)，所述固定环(202)的内壁安装有滤网(203)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：所述回收机构(3)包括第一水泵(301)、水管(302)、储存箱(303)、第二水泵(304)和连接管(305)，所述第一水泵(301)连接在储液箱(201)的内部，所述第一水泵(301)的一端连接有水管(302)，所述水管(302)的另一端连接在储存箱(303)的底部，所述储存箱(303)的顶部连接有第二水泵(304)，所述第二水泵(304)的一端连接有连接管(305)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：所述出液口(4)与连接管(305)之间相连通，且雾化头(5)焊接在出液口(4)底部。

5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：所述调节机构(6)包括固定杆(601)、电动转盘(602)、连接块(603)、电动伸缩套杆(604)、卡板(605)和棉垫(606)，所述固定杆(601)均焊接在外壳(1)顶部两侧，所述固定杆(601)的外壁一侧安装有电动转盘(602)，所述电动转盘(602)的旋转端上安装有连接块(603)，所述连接块(603)的一端焊接有电动伸缩套杆(604)，所述电动伸缩套杆(604)的伸缩端上安装有卡板(605)，所述卡板(605)的内壁安装有棉垫(606)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：所述卡板(605)通过电动伸缩套杆(604)与连接块(603)构成伸缩结构，且卡板(605)为U形结构。

7.根据权利要求5所述的一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：所述卡板(605)的内壁尺寸与棉垫(606)的外壁尺寸相吻合，且棉垫(606)的尺寸小于卡板(605)的尺寸。