[实用新型]一种半导体芯片用光阻液喷涂装置

说明书

本实用新型涉及半导体芯片技术领域，且公开了一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括外壳，所述外壳的内部安装有过滤机构，所述外壳的外壁一侧安装有回收机构，所述回收机构的外壁安装有出液口，所述出液口的底部安装有雾化，所述外壳的顶部两侧均安装有调节机构。该半导体芯片用光阻液喷涂装置，通过储液箱、固定环、滤网、第一水泵、水管、储存箱、第二水泵和连接管的设置，在使用时将滤网与固定环安装到储液箱内部进行固定，以便于对使用后的光阻液进行一定的过滤作用，并且使用后的光阻液有一定量存放在储液箱内部时，发动第一水泵带动光阻液进入到储存箱内部进行回收，再发动第二水泵带动回收后的光阻液进行二次使用喷涂，可以有效的节约光阻液的浪费。

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片技术领域，具体为一种半导体芯片用光阻液喷涂装置。

背景技术

半导体芯片，在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件，不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓，锗等半导体材料，半导体也像汽车有潮流，二十世纪七十年代，因特尔等美国企业在动态随机存取内存市场占上风，为了满足量产上的需求，半导体的电性必须是可预测并且稳定的，因此包括掺杂物的纯度以及半导体晶格结构的品质都必须严格要求，常见的品质问题包括晶格的位错、孪晶面或是堆垛层错都会影响半导体材料的特性，对于一个半导体器件而言，材料晶格的缺陷通常是影响元件性能的主因，在半导体芯片的生产过程中，需要对半导体芯片进行光阻液喷涂，故此需要使用到半导体芯片用光阻液喷涂装置。

传统的半导体芯片用光阻液喷涂装置，在喷涂光阻液时，光阻液会快速落下，无法快速粘连到半导体芯片上，会导致光阻液大量的浪费情况，造成生产成本提高，并且无法做到节约资源的作用，使用较为不便利。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，以解决上述背景技术中提出传统的半导体芯片用光阻液喷涂装置，在喷涂光阻液时，光阻液会快速落下，无法快速粘连到半导体芯片上，会导致光阻液大量的浪费情况，造成生产成本提高，并且无法做到节约资源的作用，使用较为不便利的问题。

(二)技术方案

为实现上述的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括外壳，所述外壳的内部安装有过滤机构，所述外壳的外壁一侧安装有回收机构，所述回收机构的外壁安装有出液口，所述出液口的底部安装有雾化头，所述外壳的顶部两侧均安装有调节机构。

优选的，所述过滤机构包括储液箱、固定环和滤网，所述储液箱安装在外壳内部，所述储液箱的内壁焊接有固定环，所述固定环的内壁安装有滤网，通过储液箱、固定环和滤网的设置，在使用时将滤网与固定环安装到储液箱内部进行固定，以便于对使用后的光阻液进行一定的过滤作用，避免光阻液内部掺杂杂质，导致无法进行二次使用。

优选的，所述回收机构包括第一水泵、水管、储存箱、第二水泵和连接管，所述第一水泵连接在储液箱的内部，所述第一水泵的一端连接有水管，所述水管的另一端连接在储存箱的底部，所述储存箱的顶部连接有第二水泵，所述第二水泵的一端连接有连接管，通过储液箱、固定环和滤网的设置，在使用后的光阻液有一定量存放在储液箱内部时，发动第一水泵带动光阻液进入到储存箱内部进行回收，再发动第二水泵带动回收后的光阻液进行二次使用喷涂，可以有效的节约光阻液的浪费。

优选的，所述出液口与连接管之间相连通，且雾化头焊接在出液口底部，通过出液口与雾化头的设置，在使用时可以对喷涂出的光阻液进行雾化处理，可以极大程度上的减少光阻液的浪费，避免光阻液较为厚重的喷涂到半导体芯片上，导致光阻液无法迅速凝结在半导体芯片上，雾化喷射可以有效的避免这类情况发生。