[实用新型]一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置

摘要

本实用新型公开一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，包括推顶器、校准机构，校准机构包括固定块和调节框，调节框通过纵向调节组件和横向调节组件套接在固定块外，纵向调节组件包括第一压缩弹簧、第一柱头和第一顶紧螺钉，横向调节组件包括第二压缩弹簧、第二柱头和第二顶级螺钉，固定块的左端面上和前端面上分别开设第一盲孔和第二盲孔，第一压缩弹簧安装在第一盲孔内并通过第一柱头与调节框连接，第二压缩弹簧安装在第二盲孔内并通过第二柱头与调节框连接；第一顶紧螺钉、第二顶紧螺钉均穿过调节框后与固定块的后端面相接。该校准装置的整体的结构更简单新颖，加工安装也更方单，位置调节更准确，实用性高。