[实用新型]一种光刻胶收集杯清洗装置有效
| 申请号： | 202122199116.0 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN215696561U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 金浩天;孙游 | 申请（专利权）人： | 上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种光刻胶收集杯清洗装置，包括可旋转的旋转台、清洗盘和喷嘴；清洗盘设置在旋转台上，旋转台旋转时带动清洗盘转动，清洗盘内设有通道，所述清洗盘的侧壁沿转动方向设有多个通孔，所述清洗盘的底部沿转动方向设有多个斜孔，所述斜孔的底部出口朝向所述清洗盘的外侧倾斜，所述通孔和所述斜孔分别与所述通道连通；喷嘴设置在所述清洗盘的下方，用于向所述通道内喷射清洗液。本实用新型通过在清洗盘的侧面设置用于喷射清洗液的通孔，同时在清洗盘的底部设置用于喷射清洗液的斜孔，可实现在收集杯的不同高度向收集杯内壁喷射清洗液，实现自动清洗收集杯内壁残留的光刻胶的同时，提高清洗效果且节省清洗时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 收集 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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