[实用新型]一种光刻胶收集杯清洗装置

权利要求书

1.一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，包括：

可旋转的旋转台；

清洗盘，设置在所述旋转台上，所述旋转台旋转时带动所述清洗盘转动，所述清洗盘内设有通道，所述清洗盘的侧壁沿转动方向设有多个通孔，所述清洗盘的底部沿转动方向设有多个斜孔，所述斜孔的底部出口朝向所述清洗盘的外侧倾斜，所述通孔和所述斜孔分别与所述通道连通；

喷嘴，设置在所述清洗盘的下方，用于向所述通道内喷射清洗液。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，

所述清洗盘的底部设有开口，所述开口与所述通道相通，所述喷嘴对应所述开口设置，所述喷嘴喷射的清洗液从所述开口处进入所述通道内。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，

所述清洗盘包括上清洗盘和下清洗盘，所述上清洗盘与所述下清洗盘固定连接，所述通道位于所述上清洗盘与所述下清洗盘之间。

4.根据权利要求3所述的一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，

所述下清洗盘包括侧板和底板，所述侧板围设在所述底板的外边缘，所述上清洗盘盖设在所述侧板上，所述底板为环形，环形的所述底板的内侧形成所述开口，所述上清洗盘与所述底板之间形成所述通道，所述旋转台穿过所述开口并与所述上清洗盘连接。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，所述通孔设置在所述侧板上，所述斜孔设置在所述底板上。

6.根据权利要求4所述的一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，所述侧板的内侧壁向内侧凸出设有连接部，所述上清洗盘与所述连接部螺纹连接，所述连接部位于相邻的两个所述通孔之间。

7.根据权利要求1至6任一项所述的一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，所述斜孔的底部出口位于所述清洗盘的底部边缘处。

8.根据权利要求1至6任一项所述的一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，所述喷嘴的数量为多个，多个所述喷嘴对称设置在所述清洗盘的下方。

9.根据权利要求1至6任一项所述的一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，所述通孔距离所述旋转台的高度高于衬底基板距离所述旋转台的高度。

10.根据权利要求1至6任一项所述的一种光刻胶收集杯清洗装置，其特征在于，所述旋转台上设有用于吸附所述清洗盘的多个吸附孔。