[实用新型]一种硅棒传输系统有效
申请号: | 202122179384.6 | 申请日: | 2021-09-09 |
公开(公告)号: | CN216181760U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 潘伟;罗竞艳;袁黎平;孙辰 | 申请(专利权)人: | 楚雄隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 651299 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型公开一种硅棒传输系统,涉及单晶硅片制造技术领域,以解决人工搬运翻转硅棒困难的问题。硅棒传输系统包括第一轨道、第二轨道、搬运装置和翻转装置。第一轨道自上一工位延伸至粘棒工位。第二轨道自粘棒工位延伸至切片工位。搬运装置吊装于第一轨道,将硅棒从上一工位搬运至粘棒工位。翻转装置吊装于第二轨道,将硅棒从粘棒工位搬运至切片工位,并将硅棒翻转至预设角度。本实用新型提供的硅棒传输系统用于搬运和翻转硅棒,提高工作效率的同时,规避了硅棒掉落、划伤的风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 传输 系统 | ||
【主权项】:
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