[实用新型]用于半导体材料制造的冷凝成型装置有效
申请号: | 202122175534.6 | 申请日: | 2021-09-09 |
公开(公告)号: | CN216182107U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 陈雅丽 | 申请(专利权)人: | 深圳市安圣美科技有限公司 |
主分类号: | B29C41/04 | 分类号: | B29C41/04;B29C41/46;F16F15/08 |
代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 蔡辉 |
地址: | 518000 广东省深圳市福田*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于半导体材料制造的冷凝成型装置,包括冷凝成型盘、伺服电机、水冷盘、散热板、减震脚垫,所述水冷盘内部上端设置有所述散热板,所述散热板上端设置有导热柱,所述导热柱上端设置有所述冷凝成型盘,所述冷凝成型盘上端设置有出料斗,所述出料斗上端设置有出料管,所述出料管外侧设置有出料电磁阀,所述水冷盘下端设置有转动轴,所述转动轴下端设置有所述伺服电机,所述伺服电机下端设置有柜体,所述伺服电机一侧设置有集水箱,所述集水箱上端设置有出水管,所述出水管外侧设置有出水电磁阀,所述水冷盘下端设置有排水管。有益效果在于:结构简单,便于工作人员进行操作,装置在工作过程中稳定性较好,提高了产品的质量。 | ||
搜索关键词: | 用于 半导体材料 制造 冷凝 成型 装置 | ||
【主权项】:
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