[实用新型]一种真空腔室密封机构有效
| 申请号： | 202122164594.8 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN216306707U | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 余龙;周斌;渡邉優;张波;裴蓓;曹永军;加藤弘樹;吕启蒙 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/10 | 分类号： | F16J15/10;F16J15/14 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空工艺处理技术领域，尤其是一种真空腔室密封机构，其特征在于：该机构包括膨胀顶推机构和密封体，所述膨胀顶推机构与所述密封体连接，所述膨胀顶推机构利用自身体积膨胀实现对所述密封体的顶推，所述密封体在所述膨胀顶推机构的作用下位移并压合至所述真空腔室待密封位置实现密封。本实用新型的优点是：可以在有限的空间内，既保证了真空腔室的独立性；密封效果好，保证真空腔室内的真空度；结构简单合理，便于自动化控制，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 密封 机构 | ||
【主权项】：
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