[实用新型]一种真空腔室密封机构

说明书

本实用新型涉及真空工艺处理技术领域，尤其是一种真空腔室密封机构，其特征在于：该机构包括膨胀顶推机构和密封体，所述膨胀顶推机构与所述密封体连接，所述膨胀顶推机构利用自身体积膨胀实现对所述密封体的顶推，所述密封体在所述膨胀顶推机构的作用下位移并压合至所述真空腔室待密封位置实现密封。本实用新型的优点是：可以在有限的空间内，既保证了真空腔室的独立性；密封效果好，保证真空腔室内的真空度；结构简单合理，便于自动化控制，适于推广。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜、刻蚀、热工艺处理等技术领域，尤其是一种真空腔室密封机构。

背景技术

伴随真空镀膜、刻蚀、热工艺处理等真空处理方法的应用领域逐步扩大，在工件上连续进行真空处理的需求日益增多。比如，为实现特定镀膜需求，可在真空镀膜室中设置可旋转或者平移的工件架机构，以及多个相对独立的子腔室；工件架机构装载镀膜工件，多个子腔室分别设置镀膜源；工件架机构按一定顺序将镀膜工件暴露在前述多个子腔室中的镀膜源作用区域，从而实现多个镀膜源对于工件架机构上镀膜工件的连续镀膜。因此，如何对多个子腔室进行密封隔离，以使各子腔室相独立，避免各子腔室的相互影响成为亟需解决的问题。

发明内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种真空腔室密封机构，通过膨胀顶推机构的体积膨胀和体积收缩驱动密封体对真空腔室进行可控的密封，实现真空腔室的独立密封，同时满足工件可在多个真空腔室之间切换的需要。

本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

一种真空腔室密封机构，用于对真空腔室进行密封，其特征在于：该机构包括膨胀顶推机构和密封体，所述膨胀顶推机构与所述密封体连接，所述膨胀顶推机构利用自身体积膨胀实现对所述密封体的顶推，所述密封体在所述膨胀顶推机构的作用下位移并压合至所述真空腔室待密封位置实现密封。

所述机构还包括回弹机构，所述回弹机构与所述密封体连接，所述回弹机构以配合所述密封体位移后的复位。

所述机构还包括导向机构，所述导向机构与所述密封体连接，所述导向机构用于对所述密封体的位移进行导向。

所述导向机构包括导向轴以及配合连接在所述导向轴外围的导向件，所述导向轴与所述密封体连接固定。

所述膨胀顶推机构包括膨胀变形体和动力机构，所述膨胀变形体与所述动力机构连接，所述动力机构连接控制所述膨胀变形体的体积膨胀或体积收缩。

所述膨胀变形体的内部具有空腔，所述动力机构与所述空腔相连接，所述动力机构可将流体充注至所述空腔内或将流体从所述空腔内抽出，使所述膨胀变形体体积膨胀或体积收缩。

所述膨胀变形体为热膨胀变形体，所述动力机构与所述热膨胀变形体连接，所述动力机构包含加热和制冷装置，所述动力机构通过对所述热膨胀变形体加热或制冷使其体积膨胀或体积收缩。

所述热膨胀变形体的外围设置有绝热层。

所述膨胀变形体为电膨胀变形体，所述动力机构与所述电膨胀变形体连接，所述动力机构包含电源，所述动力机构通过对所述电膨胀变形体通电或断电使其体积膨胀或体积收缩。

所述膨胀变形体包括波纹管，所述动力机构为气缸、电缸、油缸中的一种，所述动力机构连接驱动所述波纹管伸缩以实现体积膨胀或体积收缩。

所述膨胀变形体设置有用于限制其膨胀方向的限位体。

本实用新型的优点是：可以在有限的空间内，既保证了真空腔室的独立性；密封效果好，保证真空腔室内的真空度；结构简单合理，便于自动化控制，适于推广。

附图说明

图1为本实用新型的第一种结构示意图（密封状态）；

图2为图1所示结构处于解除密封状态的结构示意图；