[实用新型]一种真空腔室密封机构

权利要求书

1.一种真空腔室密封机构，用于对真空腔室进行密封，其特征在于：该机构包括膨胀顶推机构和密封体，所述膨胀顶推机构与所述密封体连接，所述膨胀顶推机构利用自身体积膨胀实现对所述密封体的顶推，所述密封体在所述膨胀顶推机构的作用下位移并压合至所述真空腔室待密封位置实现密封。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述机构还包括回弹机构，所述回弹机构与所述密封体连接，所述回弹机构以配合所述密封体位移后的复位。

3.根据权利要求1所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述机构还包括导向机构，所述导向机构与所述密封体连接，所述导向机构用于对所述密封体的位移进行导向。

4.根据权利要求3所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述导向机构包括导向轴以及配合连接在所述导向轴外围的导向件，所述导向轴与所述密封体连接固定。

5.根据权利要求1所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述膨胀顶推机构包括膨胀变形体和动力机构，所述膨胀变形体与所述动力机构连接，所述动力机构连接控制所述膨胀变形体的体积膨胀或体积收缩。

6.根据权利要求5所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述膨胀变形体的内部具有空腔，所述动力机构与所述空腔相连接，所述动力机构可将流体充注至所述空腔内或将流体从所述空腔内抽出，使所述膨胀变形体体积膨胀或体积收缩。

7.根据权利要求5所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述膨胀变形体为热膨胀变形体，所述动力机构与所述热膨胀变形体连接，所述动力机构包含加热和制冷装置，所述动力机构通过对所述热膨胀变形体加热或制冷使其体积膨胀或体积收缩。

8.根据权利要求7所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述热膨胀变形体的外围设置有绝热层。

9.根据权利要求5所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述膨胀变形体为电膨胀变形体，所述动力机构与所述电膨胀变形体连接，所述动力机构包含电源，所述动力机构通过对所述电膨胀变形体通电或断电使其体积膨胀或体积收缩。

10.根据权利要求5所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述膨胀变形体包括波纹管，所述动力机构为气缸、电缸、油缸中的一种，所述动力机构连接驱动所述波纹管伸缩以实现体积膨胀或体积收缩。

11.根据权利要求5所述的一种真空腔室密封机构，其特征在于：所述膨胀变形体设置有用于限制其膨胀方向的限位体。