[实用新型]一种用于半导体器件制造的废气处理装置有效
| 申请号： | 202122160944.3 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN215654636U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 莫薇 | 申请（专利权）人： | 深圳市利微成科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/75 | 分类号： | B01D53/75;B01D53/00;B01D53/86;B01D53/44;B01D50/60;B01D47/06 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 王旭超 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于半导体器件制造的废气处理装置，包括反应室、水洗室、净水箱、冷却塔及水泵，反应室与水洗室之间设置换热机构，换热机构包括筒体一、导热棒，筒体一两端筒口分别与反应室底部出气口及水洗室顶部进口连接并设置阀门，筒体一周壁内含空腔且筒体一外壁上、下部分别设置第一出口、第一进口，第一出口与反应室的进气口连通，导热棒两端分别位于筒体一周壁空腔内、筒体一腔内，本方案中增加换热机构，在反应后高温气体经过筒体一时，以导热棒将其蕴含的热量传递给未进入反应室的废气，提前预热以降低反应的时间且提高能源利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体器件 制造 废气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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