[实用新型]真空加热装置及真空加热系统有效

专利信息
申请号: 202122157159.2 申请日: 2021-09-08
公开(公告)号: CN216227516U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 鹿建;赵子淳;叶雨城 申请(专利权)人: 费勉仪器科技(上海)有限公司
主分类号: B23K26/00 分类号: B23K26/00;B23K26/70;G02B7/04;G01J5/00;G01J5/07;G01J5/0875
代理公司: 上海国瓴律师事务所 31363 代理人: 傅耀
地址: 201900 上海市宝*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本公开提供一种用于真空加热的加热装置,包括:激光加热机构,包括至少一个用于发射激光光束以对真空腔室内的目标进行不接触加热的激光发生器;以及温度测控机构,与激光发生器连接,用于测量目标的温度并基于所测量的温度控制至少一个激光发生器的输出功率。
搜索关键词: 真空 加热 装置 系统
【主权项】:
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