[实用新型]真空加热装置及真空加热系统

说明书

本公开提供一种用于真空加热的加热装置，包括：激光加热机构，包括至少一个用于发射激光光束以对真空腔室内的目标进行不接触加热的激光发生器；以及温度测控机构，与激光发生器连接，用于测量目标的温度并基于所测量的温度控制至少一个激光发生器的输出功率。

技术领域

本公开涉及真空加热技术领域，尤其涉及一种真空加热装置及真空加热系统。

背景技术

真空加热装置和系统广泛应用于仪器制造、材料测试以及医药化工等领域，对于快速干燥、物料分离等工艺具有重要意义。目前传统的真空加热装置和系统大多数采用电阻丝进行加热，通过给电阻丝通电使其变热，再由变热的电阻丝对真空内的目标进行加热。这种加热方式使真空加热系统的腔体内的材料受热基本均匀，且能够大面积加热。但是，当需要加热的目标体积较小或需要局部加热时，此种加热方式完全无法进行局部加热，且加热效率低下。另外，电阻丝上吸附的杂质和电阻丝本身也会因为高温而扩散至真空加热系统的腔体内，影响材料的测试。

另外，传统的真空加热装置和系统通常采用热电偶作为测温仪器。为了不影响目标加热，热电偶一般不直接与目标接触。但是，若热电偶的位置距离目标过远，则测出的温度与目标实际温度会有偏差，无法精确测量。而且，热电偶与目标同在真空环境内，需要更换热电偶时必须打开真空腔体，破环真空环境会对整体实验进度造成影响。

如上，现有真空加热装置和系统中存在诸多问题，例如无法局部加热、加热效率低下、加热中易产生杂质，测温不精准、测温仪器维修更换困难等问题。

实用新型内容

在一些实施例中，本公开提供一种用于真空加热的加热装置，包括：激光加热机构，包括至少一个用于发射激光光束以对真空腔室内的目标进行不接触加热的激光发生器；以及温度测控机构，与激光发生器连接，用于测量目标的温度并基于所测量的温度控制至少一个激光发生器的输出功率。

在一些实施例中，激光加热机构还包括调焦镜头，激光加热机构还包括调焦镜头，用于将激光发生器发射的激光光束聚焦在目标上。

在一些实施例中，调焦镜头通过光纤与激光发生器的输出端连接，并且激光加热机构还包括镜头支架。

在一些实施例中，镜头支架包括第一固定法兰和与第一固定法兰可调节地连接的第一活动法兰，第一活动法兰用于承载调焦镜头以调节调焦镜头的焦点。

在一些实施例中，激光加热机构还包括水冷机，与至少一个激光发生器连接，用于对至少一个激光发生器降温。

在一些实施例中，激光发生器具有进水口和出水口，水冷机具有吸水口和排水口，吸水口与出水口连通，排水口与进水口连通，使水冷机与激光发生器之间形成水循环。

在一些实施例中，温度测控机构包括：红外测温仪，用于测量目标的温度；以及控制器，与红外测温仪连接并且用于基于目标的温度调节至少一个激光发生器中的一个或多个激光发生器的输出功率。

在一些实施例中，红外测温仪与激光发生器连接，控制器安装在至少一个激光发生器中。

在一些实施例中，温度测控机构还包括用于承载红外测温仪的测温支架，测温支架包括第二固定法兰和与第二固定法兰可调节地连接的第二活动法兰，第二活动法兰用于承载红外测温仪以调节红外测温仪的位置。

在一些实施例中，本公开提供一种真空加热系统，真空腔室，包括至少一个视窗；以及如前的加热装置，激光加热机构通过至少一个视窗对真空腔室中的目标进行加热，并且温度测控机构通过至少一个视窗对真空腔室中的目标进行测温。