[实用新型]一种两级翻转粉体表面磁控溅射沉积涂层装置有效
| 申请号： | 202122153557.7 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN216192674U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 许建平;陈晶;李青川;潘岩 | 申请（专利权）人： | 黑龙江省海振科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150050 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种两级翻转粉体表面磁控溅射沉积涂层装置。本实用新型为了解决已有粉体表面磁控溅射沉积涂层工艺存在粉体团聚和表面涂层不均匀等问题。本实用新型包括叶片、伺服电机、筒体、栅网档板、挡板移动杆、塑料联轴器、转轴滑动密封结构、粉体挡板、大转盘、叶片转动齿轮、大转盘齿轮等，叶片实现两级翻转运动。本实用新型具有粉体充分悬浮、涂层均匀、结合力强等特点。本实用新型属于真空物理气相沉积领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 两级 翻转 体表 磁控溅射 沉积 涂层 装置 | ||
【主权项】：
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