[实用新型]一种两级翻转粉体表面磁控溅射沉积涂层装置

权利要求书

1.一种两级翻转粉体表面磁控溅射沉积涂层装置，其特征在于：所述一种两级翻转粉体表面磁控溅射沉积涂层装置包括叶片(1)、粉体(2)、伺服电机(3)、筒体(4)、栅网档板(5)、挡板移动杆(6)、挡板滑动密封结构(7)、磁控电源(8)、偏压电源(9)、阴极靶(10)、真空腔室(11)、真空泵组(12)、筒体支撑件(13)、进气口(14)、球形架(15)、塑料联轴器(16)、转轴滑动密封结构(17)、粉体挡板(18)、大转盘(19)、叶片转动齿轮(20)、大转盘齿轮(21)、大转盘轴承(22)、叶片转动轴承(23)、转轴(24)、叶片转轴(25)；

所述粉体(2)位于筒体(4)内，筒体(4)通过轴承键槽固定安装在转轴(24)上，大转盘轴承(22)通过轴承键槽固定安装在转轴(24)上，大转盘(19)通过大转盘轴承(22)可拆卸安装在转轴(24)上，大转盘齿轮(21)通过轴承键槽固定安装在转轴(24)上，叶片转动齿轮(20)通过轴承键槽固定安装在叶片转轴(25)上，叶片转轴(25)过盈配合安装在叶片转动轴承(23)的内径上，叶片转动轴承(23)固定安装在大转盘(19)上，叶片(1)可拆卸安装在叶片转轴(25)上，栅网档板(5)与挡板移动杆(6)可拆卸连接，栅网档板(5)盖在筒体(4)右侧面上，粉体挡板(18)固定连接在筒体(4)的右侧出口位置，球形架(15)通过聚四氟乙烯内衬与筒体(4)接触支撑，球形架(15)可拆卸安装在筒体支撑件(13)上，进气口(14)固定安装在真空腔室(11)侧壁上，叶片转动齿轮(20)与大转盘齿轮(21)之间接触咬合，叶片转动齿轮(20)通过大转盘齿轮(21)转动而发生转动，伺服电机(3)通过塑料联轴器(16)带动转轴(24)发生转动，栅网档板(5)通过挡板移动杆(6)实现筒体(4)遮挡和敞开，粉体挡板(18)避免筒体(4)底部的粉体(2)溢出，转轴(24)通过转轴滑动密封结构(17)与真空腔室(11)实现真空密封运动，挡板移动杆(6)通过挡板滑动密封结构(7)与真空腔室(11)实现真空密封运动，所述阴极靶(10)可拆卸安装在真空腔室(11)侧壁上，磁控电源(8)的阴极和阳极分别连接阴极靶(10)和真空腔室(11)，所述偏压电源(9)的阴极和阳极分别连接筒体支撑件(13)和真空腔室(11)，所述真空腔室(11)连接大地，所述真空泵组(12)对真空腔室(11)抽真空，工作气体通过进气口(14)进入真空腔室(11)。

2.根据权利要求1所述的一种两级翻转粉体表面磁控溅射沉积涂层装置，其特征在于叶片(1)实现两级翻转运动。