[实用新型]一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置有效
| 申请号： | 202122136889.4 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215654342U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 陶永贵 | 申请（专利权）人： | 苏州咏昕恒能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/10 | 分类号： | B01D46/10;B01D46/30;B01D46/64 |
| 代理公司： | 六安市新图匠心专利代理事务所(普通合伙) 34139 | 代理人： | 陈斌 |
| 地址： | 215228 江苏省苏州市吴江区盛泽镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机领域，尤其是涉及一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置，包括降温箱和铰接在降温箱一侧外壁的箱门，所述降温箱的顶部外壁安装有安装架，且安装架中安装有气泵，所述气泵的输出端连接有连接管，且连接管的另一端连接有收集结构，所述降温箱的两侧外壁均连接有进气组件，所述箱门靠近降温箱的一侧外壁焊接有密封圈，且气泵的输入端与降温箱内部连通。本实用新型降温箱内部的液氦会向上飘，降温箱两边的进气组件将过滤后的空气带入降温箱中，收集后的混合气体，通过提纯后进行再次使用，相比于传统方式，有利于提高氦气的回收率，有利于减少成本，有利于减少稀有气体的浪费，节约资源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 领域 冷却 氦气 回收 装置 | ||
【主权项】：
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