[实用新型]一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置

权利要求书

1.一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置，包括降温箱(1)和铰接在降温箱(1)一侧外壁的箱门(2)，其特征在于，所述降温箱(1)的顶部外壁安装有安装架(6)，且安装架(6)中安装有气泵(7)，所述气泵(7)的输出端连接有连接管(8)，且连接管(8)的另一端连接有收集结构(9)，所述降温箱(1)的两侧外壁均连接有进气组件(10)，所述箱门(2)靠近降温箱(1)的一侧外壁焊接有密封圈(3)，且气泵(7)的输入端与降温箱(1)内部连通。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置，其特征在于，所述收集结构(9)包括罐体(12)、两端固定在罐体(12)顶部和底部内壁的导管(14)、连接在罐体(12)顶部中心处的连接头(13)、滑动在罐体(12)内壁的滑块(15)、固定在滑块(15)顶部和底部外壁的密封橡胶(16)和焊接在罐体(12)顶部外壁中心处的伸缩杆。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置，其特征在于，所述伸缩杆的底端外壁与滑块(15)的中心处外焊接，且连接头(13)的一端与导管(14)连接，所述导管(14)的底端开设有出气孔，且连接头(13)中安装有阀门，所述滑块(15)和密封橡胶(16)开设有与导管(14)相适配的圆孔。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置，其特征在于，所述进气组件(10)包括连接在降温箱(1)两端外壁的进气管(17)、安装在进气管(17)另一端的过滤管(18)、套接在过滤管(18)中的过滤网(19)和套接在过滤管(18)中的过滤棉(20)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置，其特征在于，所述降温箱(1)的底部内壁四角焊接有支撑弹簧(4)，且支撑弹簧(4)的顶部焊接有支撑板(5)。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置，其特征在于，所述气泵(7)通过导线连接开关，且开关通过导线连接电源，所述箱门(2)的一侧外壁焊接有把手(11)。