[实用新型]一种薄膜吸气剂结构有效
| 申请号： | 202122106059.7 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN215756430U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 赵龙;杨晓杰;李海涛;姚浩强;高玉波;赵雪城 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 朱伟雄 |
| 地址： | 239064 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜吸气剂结构，包括衬底和薄膜吸气剂，衬底上具有凹槽腔体，凹槽腔体内壁为密集多孔结构，薄膜吸气剂钉设于密集多孔结构的孔隙中。通过这种结构，不仅能够大大增加该结构的吸气剂的有效面积和吸气剂的量，增强吸气剂的吸气效能，延长使用寿命；而且吸气剂钉设于密集多孔结构的孔隙中，密集型孔洞结构和沉积薄膜吸气剂相结合形成的衔接结构发挥出了铆钉一样的效用，大大增加了薄膜吸气剂和侧壁、底部衬底结构的粘附性，可有效避免薄膜脱落造成的器件污染和损毁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 吸气 结构 | ||
【主权项】：
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