[实用新型]一种真空干燥设备有效
| 申请号： | 202122100969.4 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN216282351U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 谌建州;李志宾;杨明倚;谢勇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B21/00;F26B25/12 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 王刚 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空干燥设备，包括：腔室，设置有气体输入口；第一加热组件，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内部进行加热以保持恒温；气体输送管路，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内输送解除真空状态的气体；所述气体输送管路的入口端与所述气体输入口相连，出口端延伸至所述腔室内远离所述气体输入口的位置。本实用新型使得气体在引入腔室的过程中，能够充分的与被加热至恒温的气体输送管路进行热交换而温度升高，进而在离开气体输送管路与腔室内蒸发出的溶剂蒸汽相接触后，不会因为温差过大使溶剂蒸汽发生冷凝，以防止溶剂在腔室内壁附着后再滴落至柔性基板上的不良现象，能够有效的提高产品良率和设备的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 干燥设备 | ||
【主权项】：
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