[实用新型]一种真空干燥设备

说明书

本实用新型提供了一种真空干燥设备，包括：腔室，设置有气体输入口；第一加热组件，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内部进行加热以保持恒温；气体输送管路，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内输送解除真空状态的气体；所述气体输送管路的入口端与所述气体输入口相连，出口端延伸至所述腔室内远离所述气体输入口的位置。本实用新型使得气体在引入腔室的过程中，能够充分的与被加热至恒温的气体输送管路进行热交换而温度升高，进而在离开气体输送管路与腔室内蒸发出的溶剂蒸汽相接触后，不会因为温差过大使溶剂蒸汽发生冷凝，以防止溶剂在腔室内壁附着后再滴落至柔性基板上的不良现象，能够有效的提高产品良率和设备的稼动率。

技术领域

本实用新型涉及显示装置制造技术领域，尤其涉及一种真空干燥设备。

背景技术

在柔性显示装置的柔性基板制作过程中，对于形成柔性基板的高粘度柔性材料进行真空干燥是一个重要的工艺步骤。然而，在相关技术中，经过真空干燥工艺后，柔性基板会出现异物，造成柔性基板存在外观和功能缺陷，严重影响柔性基板的产品良率和生产制作的稼动率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种真空干燥设备。

基于上述目的，本实用新型提供了一种真空干燥设备，其特征在于，包括：

腔室，设置有气体输入口；

第一加热组件，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内部进行加热以保持恒温；

气体输送管路，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内输送解除真空状态的气体；所述气体输送管路的入口端与所述气体输入口相连，出口端延伸至所述腔室内远离所述气体输入口的位置。

在一些可选的实施方式中，所述真空干燥设备还包括：

第二加热组件，设置于所述腔室的外壁，被配置为对所述腔室附近的外部环境进行加热以减小所述腔室内外的温差。

在一些可选的实施方式中，所述第二加热组件，包括：设置于所述腔室外壁的若干加热丝。

在一些可选的实施方式中，所述第一加热组件具体被配置为对所述腔室内部进行加热以保持第一温度；所述第二加热组件具体被配置为将所述腔室附近的外部环境加热至第二温度；其中，所述第二温度大于所述第一温度。

在一些可选的实施方式中，所述第一温度为60摄氏度，所述第二温度为70摄氏度。

在一些可选的实施方式中，所述真空干燥设备，还包括：

扩散器，设置于所述气体输送管路的所述出口端，被配置为使所述气体输送管路输送的气体的扩散。

在一些可选的实施方式中，所述扩散器内还涂覆有用于过滤气体中杂质的过滤涂层。

在一些可选的实施方式中，所述气体输送管路的所述出口端通过刚性材质的缓冲连接件固定于所述腔室的内壁。

在一些可选的实施方式中，所述气体输送管路的直径远小于所述真空干燥设备预设的公称直径。

在一些可选的实施方式中，所述气体输送管路的所述出口端还设置有温度检测装置。

从上面所述可以看出，本实用新型提供的真空干燥设备，将真空干燥设备中用于引入解除真空状态的气体的气体输送管路的长度延长，使气体输送管路在腔室内经过一段较长的延伸距离后，令出口端延伸至远离腔室上的气体输入口的位置。通过上述气体输送管路的设置，使得气体在引入腔室的过程中，能够充分的与被加热至恒温的气体输送管路进行热交换而温度升高，进而在离开气体输送管路与腔室内蒸发出的溶剂蒸汽相接触后，不会因为温差过大使溶剂蒸汽发生冷凝，以防止溶剂在腔室内壁附着后再滴落至柔性基板上的不良现象，能够有效的提高产品良率和设备的稼动率。

附图说明