[实用新型]一种真空干燥设备有效
| 申请号： | 202122100969.4 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN216282351U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 谌建州;李志宾;杨明倚;谢勇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B21/00;F26B25/12 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 王刚 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 干燥设备 | ||
1.一种真空干燥设备，其特征在于，包括：
腔室，设置有气体输入口；
第一加热组件，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内部进行加热以保持恒温；
气体输送管路，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内输送解除真空状态的气体；所述气体输送管路的入口端与所述气体输入口相连，出口端延伸至所述腔室内远离所述气体输入口的位置。
2.根据权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述气体输送管路具体被构造为沿所述腔室的任一侧壁延伸，并弯折后使所述出口端延伸至相邻的侧壁。
3.根据权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，还包括：
第二加热组件，设置于所述腔室的外壁，被配置为对所述腔室附近的外部环境进行加热以减小所述腔室内外的温差。
4.根据权利要求3所述的真空干燥设备，其特征在于，所述第二加热组件，包括：设置于所述腔室外壁的若干加热丝。
5.根据权利要求3或4所述的真空干燥设备，其特征在于，所述第一加热组件具体被配置为对所述腔室内部进行加热以保持第一温度；所述第二加热组件具体被配置为将所述腔室附近的外部环境加热至第二温度；其中，所述第二温度大于所述第一温度。
6.根据权利要求5所述的真空干燥设备，其特征在于，所述第一温度为60摄氏度，所述第二温度为70摄氏度。
7.根据权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，还包括：
扩散器，设置于所述气体输送管路的所述出口端，被配置为使所述气体输送管路输送的气体的扩散。
8.根据权利要求7所述的真空干燥设备，其特征在于，所述扩散器内还涂覆有用于过滤气体中杂质的过滤涂层。
9.根据权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述气体输送管路的所述出口端通过刚性材质的缓冲连接件固定于所述腔室的内壁。
10.根据权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述气体输送管路的直径为所述真空干燥设备预设的公称直径的1/2至1/5。
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