[实用新型]一种生产良品率高的MOCVD反应腔

摘要

本实用新型公开了一种生产良品率高的MOCVD反应腔，包括反应室、滤杂机构；反应室上连接有入气管；滤杂机构安装于入气管上，滤杂机构包括滤杂箱，滤杂箱上连接有进气管，入气管和进气管均与滤杂箱内部相连通，滤杂箱内设有抽拉式过滤机构，抽拉式过滤机构包括安装件，用于安装第一筛网、第二筛网和转轴，进而可以对反应气体进行过滤；安装件滑动设于滤杂箱内，方便工作人员取下安装件，以便对第一筛网和第二筛网进行清洁。本实用新型通过反应室上相应机构的设置，可以对反应气体进行过滤，使得油污或其他颗粒不易倒吸到反应腔内，保证反应腔内MOCVD的反应质量，提高MOCVD的生产良品率，从而可以保证生产者的经济收益。