[实用新型]一种生产良品率高的MOCVD反应腔

权利要求书

1.一种生产良品率高的MOCVD反应腔，其特征在于，包括：

反应室，所述反应室上连接有入气管；

滤杂机构，安装于所述入气管上，所述滤杂机构包括滤杂箱，所述滤杂箱上连接有进气管，所述入气管和进气管均与滤杂箱内部相连通，所述滤杂箱内设有抽拉式过滤机构。

2.根据权利要求1所述的一种生产良品率高的MOCVD反应腔，其特征在于，所述抽拉式过滤机构包括安装件，所述安装件滑动设于所述滤杂箱内，所述安装件上分别设有第一筛网和第二筛网，所述第一筛网设于安装件靠近进气管的一侧。

3.根据权利要求2所述的一种生产良品率高的MOCVD反应腔，其特征在于，所述安装件的一对侧壁上均连接有滑板，所述滤杂箱的内侧壁上设有滑槽，所述滑板滑动设于滑槽内。

4.根据权利要求2所述的一种生产良品率高的MOCVD反应腔，其特征在于，所述安装件上固定连接有把手。

5.根据权利要求2所述的一种生产良品率高的MOCVD反应腔，其特征在于，所述安装件内设有转轴，所述转轴的两端与安装件侧壁之间均转动连接有轴承。

6.根据权利要求5所述的一种生产良品率高的MOCVD反应腔，其特征在于，所述转轴的侧壁上固定连接有多个扇叶，所述扇叶远离转轴的一面上设有多个均匀分布的刷毛。