[实用新型]一种用于晶圆搬运的水平关节机器人有效
| 申请号: | 202122081317.0 | 申请日: | 2021-08-31 |
| 公开(公告)号: | CN215968744U | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
| 发明(设计)人: | 谢小辉 | 申请(专利权)人: | 深圳汇控智能技术有限公司 |
| 主分类号: | B25J9/04 | 分类号: | B25J9/04;B25J9/10;B25J11/00 |
| 代理公司: | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人: | 周松强 |
| 地址: | 518103 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种用于晶圆搬运的水平关节机器人,涉及运输设备技术领域。本实用新型包括机箱、大臂、和二臂,机箱上表面安装有机箱盖,机箱内表面安装有搬运机座,搬运机座内表面安装有大臂电机内圈,大臂电机内圈上表面安装有大臂电机,大臂电机内圈下表面安装有转动同步轮。本实用新型通过控制同步电机的转动,带动旋转同步轮旋转,利用转动同步轮与旋转同步轮啮合,并且,通过对大臂电机的控制,使大臂进行转动,通过减速机的安装并且通过中空减速机上、中空减速机下以及减速机同步轮,能够满足转动惯动小,而且能够减小前端的质量与空间,减少了转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 搬运 水平 关节 机器人 | ||
【主权项】:
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