[实用新型]一种用于晶圆搬运的水平关节机器人

说明书

本实用新型公开了一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，涉及运输设备技术领域。本实用新型包括机箱、大臂、和二臂，机箱上表面安装有机箱盖，机箱内表面安装有搬运机座，搬运机座内表面安装有大臂电机内圈，大臂电机内圈上表面安装有大臂电机，大臂电机内圈下表面安装有转动同步轮。本实用新型通过控制同步电机的转动，带动旋转同步轮旋转，利用转动同步轮与旋转同步轮啮合，并且，通过对大臂电机的控制，使大臂进行转动，通过减速机的安装并且通过中空减速机上、中空减速机下以及减速机同步轮，能够满足转动惯动小，而且能够减小前端的质量与空间，减少了转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点。

技术领域

本实用新型属于运输设备技术领域，特别是涉及一种用于晶圆搬运的水平关节机器人。

背景技术

现有的四轴平面运动机器人由4个电机分别驱动，驱动装置布置在关节上，该种布置主式存在转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点，在操作空间大和大负载的工作环境中，缺点表现更明显，同时，驱动装置布置在关节上，小臂上的零部件较多，占据的空间也比较大，对小臂的防尘罩体积也较大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，解决现有的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，包括机箱、大臂、和二臂，所述机箱上表面安装有机箱盖，所述机箱内表面安装有搬运机座，用来安装大臂电机，所述搬运机座内表面安装有大臂电机内圈，用来固定大臂电机，所述大臂电机内圈上表面安装有大臂电机，所述大臂电机内圈下表面安装有转动同步轮，通过转动同步轮与旋转同步轮之间的啮合，便于带动大臂转动，所述转动同步轮下表面安装有中空减速机下，所述大臂电机输出端安装有联轴器，所述联轴器下表面安装有中空减速机上，所述中空减速机上与中空减速机下之间安装有减速机同步轮，所述安装支架外表面安装有安装电机，所述安装电机输出端外表面安装有传送轮，所述传送轮外表面安装有传送带，所述传送带外表面安装有移动板，所述搬运机座下表面与移动板表面连接，通过控制安装电机，利用传送轮旋转带动传送带移动，从而使移动板移动，使搬运机座能够上下移动。

优选地，所述中空减速机上安装在大臂内表面，所述大臂内表面安装有大臂被动同步轮，所述大臂被动同步轮内表面安装有固定转轴，所述大臂被动同步轮下表面安装有大臂外圈，所述大臂外圈下表面安装有同步轮连接盘，所述同步轮连接盘下表面安装有轴承，所述固定转轴下表面安装有压盖板，防止灰尘，所述固定转轴外表面安装有二臂主动同步轮，方便带动末端臂板。

优选地，所述二臂主动同步轮安装在二臂内表面，所述二臂内表面安装有二臂外圈，所述二臂外圈内表面安装有二臂内圈，所述二臂内圈下表面安装有末端同步轮，用来带动末端臂板转动，所述末端同步轮下表面安装有末端臂板。

优选地，所述搬运机座内表面安装有同步电机，所述同步电机下表面安装有减速机，所述减速机下表面安装有旋转同步轮，所述转动同步轮与旋转同步轮啮合。

优选地，所述搬运机座下表面安装有同步带护罩、同步轮护罩以及同步带盖板，所述大臂下表面安装有大臂圆盖板，所述二臂下表面安装有二臂盘盖板和弧盖板，用来对设备进行保护，也能够起到防尘的作用。

优选地，所述机箱外表面安装有电源接头板。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过控制同步电机的转动，带动旋转同步轮旋转，利用转动同步轮与旋转同步轮啮合，并且，通过对大臂电机的控制，使大臂进行转动，通过减速机的安装并且通过中空减速机上、中空减速机下以及减速机同步轮，能够满足转动惯动小，而且能够减小前端的质量与空间，减少了转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明