[实用新型]一种用于晶圆搬运的水平关节机器人

权利要求书

1.一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，包括机箱(1)、大臂(14)、二臂(32)和安装支架(34)，其特征在于：所述机箱(1)上表面安装有机箱盖(2)，所述机箱(1)内表面安装有搬运机座(3)，所述搬运机座(3)内表面安装有大臂电机内圈(4)，所述大臂电机内圈(4)上表面安装有大臂电机(12)，所述大臂电机内圈(4)下表面安装有转动同步轮(5)，所述转动同步轮(5)下表面安装有中空减速机下(20)，所述大臂电机(12)输出端安装有联轴器(6)，所述联轴器(6)下表面安装有中空减速机上(21)，所述中空减速机上(21)与中空减速机下(20)之间安装有减速机同步轮(22)，所述安装支架(34)外表面安装有安装电机(35)，所述安装电机(35)输出端外表面安装有传送轮(36)，所述传送轮(36)外表面安装有传送带(37)，所述传送带(37)外表面安装有移动板(38)，所述搬运机座(3)下表面与移动板(38)上表面连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，其特征在于，所述中空减速机上(21)安装在大臂(14)内表面，所述大臂(14)内表面安装有大臂被动同步轮(17)，所述大臂被动同步轮(17)内表面安装有固定转轴(16)，所述大臂被动同步轮(17)下表面安装有大臂外圈(15)，所述大臂外圈(15)下表面安装有同步轮连接盘(18)，所述同步轮连接盘(18)下表面安装有轴承(19)，所述固定转轴(16)下表面安装有压盖板(30)，所述固定转轴(16)外表面安装有二臂主动同步轮(23)。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，其特征在于，所述二臂主动同步轮(23)安装在二臂(32)内表面，所述二臂(32)内表面安装有二臂外圈(24)，所述二臂外圈(24)内表面安装有二臂内圈(25)，所述二臂内圈(25)下表面安装有末端同步轮(26)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，其特征在于，所述末端同步轮(26)下表面安装有末端臂板(29)。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，其特征在于，所述搬运机座(3)内表面安装有同步电机(9)，所述同步电机(9)下表面安装有减速机(10)，所述减速机(10)下表面安装有旋转同步轮(33)，所述转动同步轮(5)与旋转同步轮(33)啮合。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，其特征在于，所述搬运机座(3)下表面安装有同步带护罩(7)、同步轮护罩(8)以及同步带盖板(13)，所述大臂(14)下表面安装有大臂圆盖板(11)，所述二臂(32)下表面安装有二臂盘盖板(27)和弧盖板(28)。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，其特征在于，所述机箱(1)外表面安装有电源接头板(31)。