[实用新型]芯片清洁装置有效
| 申请号： | 202122075455.8 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN215997712U | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 陈泓璋 | 申请（专利权）人： | 达孜有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 史瞳;谢琼慧 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种芯片清洁装置，包含基座单元、连通安装在所述基座单元的两个基座模块间的出水管，及套设在所述出水管外的多孔性清洁块。所述出水管具有用于往外朝所述多孔性清洁块流出清洁液体的出水孔。通过跨设在所述基座模块间的所述出水管的结构设计，及所述多孔性清洁块的多个清洁用外表面可在所述待用位置与所述清洁位置间转换的结构设计，使得本实用新型芯片清洁装置使用时，具有多个清洁用外表面可供替换使用，不需经常更换多孔性清洁块。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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