[实用新型]一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置

摘要

一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置，涉及太阳能电池制造技术领域。该装置包括密封反应腔、激光发生器、带有冷却装置的工作台，传输皮带机、翻面装置。工作台、激光发生器设置于密封反应腔内，工作台配置有冷却装置，激光发生器的加热端位于工作台上方。通过传输皮带机将硅片传输带至工作台上，通过翻面装置将硅片转移至工作台上的限位凹槽内，然后激光发生器对硅片进行加热，再通过冷却装置对硅片降温。该装置实现了通过激光发生器生成TOPCON太阳电池多晶硅层，并将激光发生器与前道非晶硅沉积设备集成在一起，既有利于产线连续生产，又可以避免污染的引入和硅片的破碎。