[实用新型]一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置

权利要求书

1.一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，包括密封反应腔、至少一台激光发生器、至少一个工作台，所述工作台、所述激光发生器设置于所述密封反应腔内，所述工作台配置有冷却装置，所述激光发生器的加热端位于所述工作台上方。

2.根据权利要求1所述一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，还包括至少一对皮带传输机，所述一对皮带传输机包括进料皮带传输机和出料皮带传输机，所述工作台的进料侧和与进料皮带传输机连接，所述工作台的出料侧分别和出料皮带传输机连接，所述至少一对皮带传输机相互平行设置于所述密封反应腔内。

3.根据权利要求1所述一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，所述工作台上开设有限位凹槽。

4.根据权利要求3所述一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，还包括翻片装置和位置传感器，所述位置传感器固定安装于所述激光发生器的顶部，所述翻片装置设置于所述工作台上，所述位置传感器、所述翻片装置、所述激光发生器电性连接。

5.根据权利要求1所述一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，所述激光发生器为准分子脉冲激光发生器。