[实用新型]一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置有效

专利信息
申请号: 202122068758.7 申请日: 2021-08-30
公开(公告)号: CN215496765U 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 刘金浩;左桂松;蔡蔚 申请(专利权)人: 无锡市江松科技有限公司
主分类号: H01L31/20 分类号: H01L31/20;H01L31/0216;H01L31/0368;B23K26/53
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 苗雨
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 生成 topcon 太阳电池 多晶 装置
【权利要求书】:

1.一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置,其特征在于,包括密封反应腔、至少一台激光发生器、至少一个工作台,所述工作台、所述激光发生器设置于所述密封反应腔内,所述工作台配置有冷却装置,所述激光发生器的加热端位于所述工作台上方。

2.根据权利要求1所述一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置,其特征在于,还包括至少一对皮带传输机,所述一对皮带传输机包括进料皮带传输机和出料皮带传输机,所述工作台的进料侧和与进料皮带传输机连接,所述工作台的出料侧分别和出料皮带传输机连接,所述至少一对皮带传输机相互平行设置于所述密封反应腔内。

3.根据权利要求1所述一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置,其特征在于,所述工作台上开设有限位凹槽。

4.根据权利要求3所述一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置,其特征在于,还包括翻片装置和位置传感器,所述位置传感器固定安装于所述激光发生器的顶部,所述翻片装置设置于所述工作台上,所述位置传感器、所述翻片装置、所述激光发生器电性连接。

5.根据权利要求1所述一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置,其特征在于,所述激光发生器为准分子脉冲激光发生器。

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