[实用新型]一种高精度气浮转台有效
| 申请号: | 202122011305.0 | 申请日: | 2021-08-25 |
| 公开(公告)号: | CN214578349U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
| 发明(设计)人: | 肖国丰;陈志强 | 申请(专利权)人: | 北京瑞邦精控科技有限公司 |
| 主分类号: | F16C32/06 | 分类号: | F16C32/06 |
| 代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 李文会 |
| 地址: | 101319 北京市顺义*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种高精度气浮转台,包括固定部件及转动部件,所述转动部件可转动套设于固定部件中部,且与固定部件同轴;所述固定部件上设置有轴向气孔及多层径向气孔,所述固定部件上还设置有与轴向气孔和/或径向气孔连通的进气孔,以使进气孔通气后,所述固定部件与所述转动部件之间形成气膜;其中,所述固定部件内壁上在相邻两层径向气孔间设置有环形排气槽,所述固定部件上设有使环形排气槽与大气相通的排污气孔。本实用新型的一种高精度气浮转台通过在固定部件内壁上设置环形排气槽,作为两层径向气孔之间气体排出通道,将气体中杂质、水和油等污染物排出设备,实现对气浮转台自清洁功能。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 高精度 转台 | ||
【主权项】:
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