[实用新型]一种高精度气浮转台

说明书

本实用新型公开了一种高精度气浮转台，包括固定部件及转动部件，所述转动部件可转动套设于固定部件中部，且与固定部件同轴；所述固定部件上设置有轴向气孔及多层径向气孔，所述固定部件上还设置有与轴向气孔和/或径向气孔连通的进气孔，以使进气孔通气后，所述固定部件与所述转动部件之间形成气膜；其中，所述固定部件内壁上在相邻两层径向气孔间设置有环形排气槽，所述固定部件上设有使环形排气槽与大气相通的排污气孔。本实用新型的一种高精度气浮转台通过在固定部件内壁上设置环形排气槽，作为两层径向气孔之间气体排出通道，将气体中杂质、水和油等污染物排出设备，实现对气浮转台自清洁功能。

技术领域

本实用新型涉及精密仪器设备领域。更具体地说，本实用新型涉及一种高精度气浮转台。

背景技术

空气静压轴承是以外部提供恒定压强的气体来作为润滑介质，轴承和转轴之间没有直接接触，因此两者之间不存在摩擦，能够保持较好的精度，两者的接触面之间充满了压缩气体，摩擦系数小，启动时所需的力矩小，同时由于气膜具有均化作用，在一般情况下，气体静压轴承系统的回转精度是转轴自身加工精度的三倍以上，而且由于采用压缩气体为摩擦介质，空气静压轴承清洁无污染，以上这些优点，使得空气静压轴承特别适合高精度、高洁净度的应用场合。高精度气浮转台是空气静压轴承的一种，可应用于晶圆检测、生物检测、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备制造等高端检测和制造行业。气浮转台通常是通过高压气体作为支撑介质，高精度气浮转台属于精密仪器，对所用的气体清洁度要求很高，通入的压缩气体必须经过过滤去除杂质、水和油等，一旦通入的压缩气中混入杂质，相关的杂质、水和油等就会聚集在气浮表面影响转台的正常运行甚至导致转台的报废。在目前双层气孔气浮转台的结构中，在两层气孔之间的部分气体没有排出通道，这就导致一旦气体中含有微小杂质、水和油等污染物进入就不可能排出。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供一种高精度气浮转台，能够有效解决上述问题，本实用新型的一种高精度气浮转台通过设置环形排气槽，通过环形排气槽将两层径向气孔之间气体排出，同时排出气体中杂质、水和油等污染物，实现对气浮转台提供自清洁的功能。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种高精度气浮转台，包括固定部件及转动部件，所述转动部件可转动套设于固定部件中部，且与固定部件同轴；所述固定部件上设置有轴向气孔及多层径向气孔，轴向气孔及径向气孔均导通至固定部件上接近转动部件的内壁，上下层的径向气孔间通过轴向气孔连通，所述固定部件上还设置有与轴向气孔和/或径向气孔连通的进气孔，以使进气孔通气后，所述固定部件与所述转动部件之间形成气膜；其中，所述固定部件内壁上在相邻两层径向气孔间设置有环形排气槽，所述固定部件上设有使环形排气槽与大气相通的排污气孔。

优选的是：所述固定部件包括封板、底座、轴套、外罩、电机罩、电机定子，固定部件之间通过螺钉连接在一起固定不动，所述转动部件包括下端板、芯轴、上端板、电机动子、光栅尺，转动部件之间通过螺钉连接在一起随着电机动子的驱动进行转动，其中，通气后固定部件的轴套与转动部件的下端板、芯轴、上端板之间形成气膜，所述轴向气孔、径向气孔、环形排气槽及排污气孔设于轴套上。

优选的是：所述轴套周向均匀分布有8个轴向气孔。

优选的是：所述轴套上设置有上下两层径向气孔，每层径向气孔包括8个沿轴套周向均匀分布的径向气孔。

优选的是：所述排污气孔与大气相通一端设置有消音器。

优选的是：所述高精度气浮转台芯轴上表面周向均匀分布有8个排气通道。

优选的是：所述高精度气浮转台芯轴下表面周向均匀分布有8个排气通道。

优选的是：所述上端板中心处设有中空圆孔。

优选的是：所述高精度气浮转台光栅尺采用圆光栅尺，所述圆光栅尺位于上端板外侧，与上端板同轴安装。

本实用新型至少包括以下有益效果：