[实用新型]一种高精度气浮转台

权利要求书

1.一种高精度气浮转台，其特征在于，包括固定部件及转动部件，所述转动部件可转动套设于固定部件中部，且与固定部件同轴；

所述固定部件上设置有轴向气孔及多层径向气孔，轴向气孔及径向气孔均导通至固定部件上接近转动部件的内壁，上下层的径向气孔间通过轴向气孔连通，所述固定部件上还设置有与轴向气孔和/或径向气孔连通的进气孔，以使进气孔通气后，所述固定部件与所述转动部件之间形成气膜；

其中，所述固定部件内壁上在相邻两层径向气孔间设置有环形排气槽，所述固定部件上设有使环形排气槽与大气相通的排污气孔。

2.如权利要求1所述的一种高精度气浮转台，其特征在于，所述固定部件包括封板、底座、轴套、外罩、电机罩、电机定子，固定部件之间通过螺钉连接在一起固定不动，所述转动部件包括下端板、芯轴、上端板、电机动子、光栅尺，转动部件之间通过螺钉连接在一起随着电机动子的驱动进行转动，其中，通气后固定部件的轴套与转动部件的下端板、芯轴、上端板之间形成气膜，所述轴向气孔、径向气孔、环形排气槽及排污气孔设于轴套上。

3.如权利要求2所述的一种高精度气浮转台，其特征在于，所述轴套周向均匀分布有8个轴向气孔。

4.如权利要求3所述的一种高精度气浮转台，其特征在于，所述轴套上设置有上下两层径向气孔，每层径向气孔包括8个沿轴套周向均匀分布的径向气孔。

5.如权利要求2所述的一种高精度气浮转台，其特征在于，所述排污气孔与大气相通一端设置有消音器。

6.如权利要求4所述的一种高精度气浮转台，其特征在于，所述高精度气浮转台芯轴上表面周向均匀分布有8个排气通道。

7.如权利要求6所述的一种高精度气浮转台，其特征在于，所述高精度气浮转台芯轴下表面周向均匀分布有8个排气通道。

8.如权利要求2所述的一种高精度气浮转台，其特征在于，所述上端板中心处设有中空圆孔。

9.如权利要求2所述的一种高精度气浮转台，其特征在于，所述高精度气浮转台光栅尺采用圆光栅尺，所述圆光栅尺位于上端板外侧，与上端板同轴安装。