[实用新型]一种单晶硅快速退火辅助降温装置有效
| 申请号： | 202122002212.1 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN216074100U | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 马飞;娄中士;李鹏飞;张净源;闫鹏飞;袁长宏;周宏邦;贾海洋;张强;王淼;张恒 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶硅快速退火辅助降温装置，包括水平方向设置的工作台，用于放置待退火处理的单晶硅；竖直方向上设置的支撑杆，支撑杆一端设置于工作台上，支撑杆另一端设置有悬挂杆，悬挂杆为水平方向上设置，悬挂杆一端与支撑杆连接；悬挂设置于悬挂杆下方的主风扇，用于向工作台提供风冷，辅助单晶硅快速退火降温。本实用新型解决了目前现有技术由于RTP设备自身的限制，处理结束后，单晶硅自然降温速率较低，降温慢，无法满足实际生产需求，影响生产效率的问题；提供一种单晶硅快速退火辅助降温装置，该辅助降温装置可以对经过RTP处理后的单晶硅样品进行快速冷却，可以显著增加单晶硅的退火降温效率，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 快速 退火 辅助 降温 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古中环领先半导体材料有限公司，未经内蒙古中环领先半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122002212.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种五金用管材边缘打磨机
- 下一篇：一种急诊科用创伤清创盘
