[实用新型]一种单晶硅快速退火辅助降温装置

权利要求书

1.一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于，所述装置包括：

工作台，所述工作台设置于水平方向，所述工作台用于放置待退火处理的单晶硅；

支撑杆，所述支撑杆为竖直方向上设置，所述支撑杆一端设置于所述工作台上，所述支撑杆另一端设置有悬挂杆，所述悬挂杆为水平方向上设置，所述悬挂杆一端与所述支撑杆连接；

主风扇，所述主风扇悬挂设置于所述悬挂杆下方，所述主风扇用于向所述工作台提供风冷，用于辅助所述单晶硅快速退火降温。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

所述悬挂杆与所述支撑杆的连接端为活动连接，所述悬挂杆可以在所述支撑杆上竖直方向进行上下移动。

3.根据权利要求1或2所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

还包括第一滑轮，所述第一滑轮悬挂设置于所述悬挂杆下方，所述第一滑轮一端与所述主风扇连接，所述第一滑轮用于调节所述主风扇与所述工作台之间的距离。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

还包括第一旋转头，所述第一旋转头设置于所述主风扇的背侧，所述第一旋转头可以进行旋转，用于调整所述主风扇的朝向。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

所述第一旋转头的旋转角度≤180°。

6.根据权利要求1或2或4或5所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

还包括辅风扇，所述辅风扇悬挂设置于所述悬挂杆下方，所述辅风扇用于和所述主风扇一起对所述单晶硅进行冷却。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

还包括第二滑轮，所述第二滑轮悬挂设置于所述悬挂杆下方，所述第二滑轮一端与所述辅风扇连接，所述第二滑轮用于调节所述辅风扇与所述工作台之间的距离。

8.根据权利要求7所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

还包括第二旋转头，所述第二旋转头设置于所述辅风扇的背侧，所述第二旋转头可以进行旋转，用于调整所述辅风扇的朝向。

9.根据权利要求8所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

所述第二旋转头的旋转角度≤45°。

10.根据权利要求7-9任一所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

所述辅风扇的数量至少为2个。

11.根据权利要求10所述的一种单晶硅快速退火辅助降温装置，其特征在于：

还包括电源和控制器，所述电源用于为所述装置提供电力，所述控制器用于控制所述主风扇和所述辅风扇的输出功率。