[实用新型]一种感应加热外延炉有效
申请号: | 202121984998.5 | 申请日: | 2021-08-23 |
公开(公告)号: | CN215598087U | 公开(公告)日: | 2022-01-21 |
发明(设计)人: | 蒋宇飞;蒋焰云;朱建国;程宣林 | 申请(专利权)人: | 无锡赛默可科技有限公司 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D7/02;B01D46/10;B01D46/46 |
代理公司: | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人: | 陆婉 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种感应加热外延炉,包括感应加热炉本体,所述感应加热炉本体上安装有进气管且所述进气管的内腔螺栓安装有风机,所述进气管的左右端呈对称设有两组支管且两组支管的进气端竖直朝下,所两组所述支管的内腔均安装有过滤组件、空气流量传感器和电动阀门,两组所述支管的外壁均安装有定位组件且两组所述定位组件分别与相对应的过滤组件插接。本实用新型所述的一种感应加热外延炉,在进气管上设置有两组支管,且支管内部设置有过滤网、空气流量传感器和电动阀门,工作人员可根据流量数值判断过滤网的堵塞情况,从而更换另一组洁净的过滤网进行空气过滤作业,两组支管内的过滤网交替工作,保证了良好地通风性的同时也保证了工作的连续性。 | ||
搜索关键词: | 一种 感应 加热 外延 | ||
【主权项】:
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