[实用新型]一种感应加热外延炉有效
| 申请号： | 202121984998.5 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN215598087U | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 蒋宇飞;蒋焰云;朱建国;程宣林 | 申请（专利权）人： | 无锡赛默可科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D7/02;B01D46/10;B01D46/46 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 陆婉 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 感应 加热 外延 | ||
1.一种感应加热外延炉，包括感应加热炉本体(1)，所述感应加热炉本体(1)上安装有进气管(2)且所述进气管(2)的内腔螺栓安装有风机(4)，其特征在于：所述进气管(2)的左右端呈对称设有两组支管(3)且两组支管(3)的进气端竖直朝下，所两组所述支管(3)的内腔均安装有过滤组件(6)、空气流量传感器(8)和电动阀门(9)，两组所述支管(3)的外壁均安装有定位组件(7)且两组所述定位组件(7)分别与相对应的过滤组件(6)插接。
2.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述过滤组件(6)包括半圆板(61)，所述半圆板(61)的内腔安装有过滤网(63)，所述半圆板(61)的外壁上安装有插接板(62)且所述插接板(62)上开设有通孔(64)。
3.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述定位组件(7)包括圆筒(71)，所述圆筒(71)安装在支管(3)的外壁上，所述圆筒(71)被插杆(74)贯穿，所述插杆(74)位于圆筒(71)的内部位上安装有挡环(73)，所述圆筒(71)的内腔设置有复位弹簧(72)且所述复位弹簧(72)套接在插杆(74)上，所述复位弹簧(72)的上下端分别与圆筒(71)和挡环(73)相抵触。
4.根据权利要求3所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述插杆(74)的上端安装有拉环(75)且所述拉环(75)的外表面包裹一层弹性缓冲垫。
5.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述感应加热炉本体(1)的外壁上安装有控制器(10)且所述控制器(10)上设有显示屏，所述控制器(10)分别与两组电动阀门(9)和两组空气流量传感器(8)电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述进气管(2)的上端和两组支管(3)的下端均螺纹密封安装有密封盖(5)。
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