[实用新型]一种感应加热外延炉

说明书

本实用新型公开了一种感应加热外延炉，包括感应加热炉本体，所述感应加热炉本体上安装有进气管且所述进气管的内腔螺栓安装有风机，所述进气管的左右端呈对称设有两组支管且两组支管的进气端竖直朝下，所两组所述支管的内腔均安装有过滤组件、空气流量传感器和电动阀门，两组所述支管的外壁均安装有定位组件且两组所述定位组件分别与相对应的过滤组件插接。本实用新型所述的一种感应加热外延炉，在进气管上设置有两组支管，且支管内部设置有过滤网、空气流量传感器和电动阀门，工作人员可根据流量数值判断过滤网的堵塞情况，从而更换另一组洁净的过滤网进行空气过滤作业，两组支管内的过滤网交替工作，保证了良好地通风性的同时也保证了工作的连续性。

技术领域

本实用新型涉及外延炉设备领域，特别涉及一种感应加热外延炉。

背景技术

现有的感应加热延炉(即是利用高频加热线圈进行感应加热)在工作时，当外延炉长时间使用后，进气口上的过滤网会堵塞，导致外延炉进气不足，进而降低了外延炉的工作效率，故此，我们提出一种感应加热外延炉来解决此问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种感应加热外延炉，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种感应加热外延炉，包括感应加热炉本体，所述感应加热炉本体上安装有进气管且所述进气管的内腔螺栓安装有风机，所述进气管的左右端呈对称设有两组支管且两组支管的进气端竖直朝下，所两组所述支管的内腔均安装有过滤组件、空气流量传感器和电动阀门，两组所述支管的外壁均安装有定位组件且两组所述定位组件分别与相对应的过滤组件插接。

优选的，所述过滤组件包括半圆板，所述半圆板的内腔安装有过滤网，所述半圆板的外壁上安装有插接板且所述插接板上开设有通孔。

优选的，所述定位组件包括圆筒，所述圆筒安装在支管的外壁上，所述圆筒被插杆贯穿，所述插杆位于圆筒的内部位上安装有挡环，所述圆筒的内腔设置有复位弹簧且所述复位弹簧套接在插杆上，所述复位弹簧的上下端分别与圆筒和挡环相抵触。

优选的，所述插杆的上端安装有拉环且所述拉环的外表面包裹一层弹性缓冲垫。

优选的，所述感应加热炉本体的外壁上安装有控制器且所述控制器上设有显示屏，所述控制器分别与两组电动阀门和两组空气流量传感器电性连接。

优选的,所述进气管的上端和两组支管的下端均螺纹密封安装有密封盖。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、在进气管上设置有两组支管，且支管内部设置有过滤网、空气流量传感器和电动阀门，工作人员可根据流量数值判断过滤网的堵塞情况，从而更换另一组洁净的过滤网进行空气过滤作业，两组支管内的过滤网交替工作，保证了良好地通风性的同时也保证了工作的连续性，可大大提高工作效率。

2、进气管的上端和两组支管的下端均螺纹密封安装有密封盖，便于对进气管内的风机进行拆卸和安装，且在不使用时可避免过滤网上灰尘的堆积。

附图说明

图1为本实用新型一种感应加热外延炉的整体结构图；

图2为本实用新型一种感应加热外延炉的A处结构放大图；

图3为本实用新型一种感应加热外延炉的B处结构放大图；

图4为本实用新型一种感应加热外延炉的过滤组件俯视图。

图中：1、感应加热炉本体；2、进气管；3、支管；4、风机；5、密封盖；6、过滤组件；61、半圆板；62、插接板；63、过滤网；64、通孔；7、定位组件；71、圆筒；72、复位弹簧；73、挡环；74、插杆；75、拉环；8、空气流量传感器；9、电动阀门；10、控制器。

具体实施方式