[实用新型]一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉有效
申请号: | 202121961083.2 | 申请日: | 2021-08-20 |
公开(公告)号: | CN215815800U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 高毛毛 | 申请(专利权)人: | 上海天冶建设集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B01D46/12;B01D46/00 |
代理公司: | 重庆创新专利商标代理有限公司 50125 | 代理人: | 李智祥 |
地址: | 201900 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉,包括箱体,所述箱体顶部的左端固定连接有过滤箱,所述过滤箱内腔的左侧固定连接有进气罩,所述过滤箱的内腔从左向右依次固定连接有HEPA过滤网和活性炭过滤网以及脱脂棉滤网,所述箱体左侧的上端设置有预加热箱,所述预加热箱内腔顶部的左右两端均固定连接有拉杆,所述拉杆的底部固定连接有排气罩。本实用新型通过过滤箱、风机、进气罩、脱脂棉滤网、活性炭过滤网、HEPA过滤网、排气罩、预加热箱和输送座的作用,解决了现有的扩散炉每次投放加工材料后,需要进行重复加热,进而延长了其加工时长,从而降低了其工作效率,同时,不具备烟气净化功能的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 工作 高效 具备 烟气 净化 功能 扩散 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造