[实用新型]一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉有效
| 申请号: | 202121961083.2 | 申请日: | 2021-08-20 |
| 公开(公告)号: | CN215815800U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
| 发明(设计)人: | 高毛毛 | 申请(专利权)人: | 上海天冶建设集团有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B01D46/12;B01D46/00 |
| 代理公司: | 重庆创新专利商标代理有限公司 50125 | 代理人: | 李智祥 |
| 地址: | 201900 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 工作 高效 具备 烟气 净化 功能 扩散 | ||
1.一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)顶部的左端固定连接有过滤箱(6),所述过滤箱(6)内腔的左侧固定连接有进气罩(9),所述过滤箱(6)的内腔从左向右依次固定连接有HEPA过滤网(10)和活性炭过滤网(11)以及脱脂棉滤网(12),所述箱体(1)左侧的上端设置有预加热箱(3),所述预加热箱(3)内腔顶部的左右两端均固定连接有拉杆(14),所述拉杆(14)的底部固定连接有排气罩(15),所述预加热箱(3)内腔底部的左右两端均固定连接有支撑杆(17),所述支撑杆(17)的顶部固定连接有输送座(16),所述过滤箱(6)的左侧固定安装有风机(5)。
2.根据权利要求1所述的一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉,其特征在于:所述箱体(1)正表面的左端固定安装有控制箱(2),且控制箱(2)的顶部设置有显示屏和控制键。
3.根据权利要求1所述的一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉,其特征在于:所述箱体(1)正表面的上端通过合页活动连接有维修门(8),且维修门(8)的一端固定安装有拉手。
4.根据权利要求1所述的一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉,其特征在于:所述预加热箱(3)的左侧通过合页活动连接有密封门(4),所述预加热箱(3)的左侧开设有槽口(13)。
5.根据权利要求1所述的一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉,其特征在于:所述箱体(1)内腔的上端设置有扩散炉管(18),所述扩散炉管(18)的顶部连通有烟气管(7),且烟气管(7)的上端和过滤箱(6)的底部连通。
6.根据权利要求1所述的一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉,其特征在于:所述风机(5)的进风端通过管道和进气罩(9)的左侧连通,所述风机(5)的出风端通过管道和排气罩(15)顶部的中端连通。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





