[实用新型]一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置

摘要

本实用新型公开了一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置，所述主体内部设有所述操作平台，所述操作平台上设有所述支撑基板，所述支撑基板两端上设有所述底座，两个所述底座之间设有所述硬掩模装置，所述硬掩模装置上设有若干个所述基片腔体，所述主体两侧分别设有所述支架，所述支架顶部设有所述吹风机，两个所述支架之间设有所述静电吸附装置，所述静电吸附装置电性连接所述电动机，所述电动机固定连接在所述支架上，本实用新型通过静电吸附原理将腔体内部的化学颗粒吸附到静电吸附装置上，同时利用吹风机加快，静电吸附化学颗粒的效率，有利地使硬掩模上的颗粒产生最小化或基本上消除，这防止了与硬掩模接触的基板和处理腔室的污染。