[实用新型]用于半导体晶片制造的固液分离系统以及加工设备有效
| 申请号： | 202121940027.0 | 申请日： | 2021-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN215691871U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 洪庆福 | 申请（专利权）人： | 北京通美晶体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D21/02 | 分类号： | B01D21/02;B28D7/00;B28D7/02;B24B55/03 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;李英伟 |
| 地址： | 101113 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于半导体晶片制造的固液分离系统以及加工设备。所述固液分离系统包括：一个沉淀池；一个进液泵，与所述沉淀池连接；一个进液盒，经由所述进液泵连接到所述沉淀池；一个回水池；一个回水泵，所述回水泵的入口连接至回水池且所述回水泵的出口连接至沉淀池，并且所述回水泵在出口侧还包括一个外部接口；以及一个固液分离装置，包括进液口和出水口，所述进液口连接到所述进液盒，所述出水口连接到所述回水池；其中，所述进液盒和所述回水池分别设置有液位传感器。所述加工设备包括所述用于半导体晶片制造过程的固液分离系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 晶片 制造 分离 系统 以及 加工 设备 | ||
【主权项】：
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