[实用新型]石墨舟校正装置

摘要

本实用新型公开了一种石墨舟校正装置，包括：移载平台，石墨舟固定于移载平台上；移载输送线，移载平台置于移载输送线上，移载平台通过移载输送线输送，移载输送线固定于固定平台上；前定位机构，位于移载输送线的前端；侧定位机构，固定于所述固定平台上，位于移载输送线的一侧边；校正机构，固定于移载输送线上，校正机构包括升降组件、校正组件及校正板，校正板上设有多个间隔设置的校正拖齿，升降组件与校正组件相连，校正板与校正组件相连，相邻校正拖齿之间的间距与石墨舟的相邻舟片之间的间距相同。本申请的校正装置能够自动对变形的石墨舟的舟片进行校正，避免在装卸硅片时掉片、碎片的情况发生，且校正效率较高。