[实用新型]石墨舟校正装置有效
| 申请号: | 202121937268.X | 申请日: | 2021-08-18 |
| 公开(公告)号: | CN215869431U | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
| 发明(设计)人: | 江幺明;戴秋喜;潘加永;刘光照 | 申请(专利权)人: | 苏州映真智能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市高新区建林*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 石墨 校正 装置 | ||
1.石墨舟校正装置,其特征在于,包括:
移载平台,石墨舟固定于移载平台上;
移载输送线,所述移载平台置于所述移载输送线上,所述移载平台通过所述移载输送线输送,所述移载输送线固定于固定平台上;
前定位机构,位于所述移载输送线的前端;
侧定位机构,固定于所述移载输送线上,所述侧定位机构位于所述移载输送线的一侧边;
校正机构,固定于所述固定平台上,所述校正机构包括升降组件、校正组件及校正板,所述校正板上设有多个间隔设置的校正拖齿,所述升降组件与所述校正组件相连,所述校正板与所述校正组件相连,所述校正板位于移载输送线的下方,相邻校正拖齿之间的间距与石墨舟的相邻舟片之间的间距相同。
2.如权利要求1所述的石墨舟校正装置,其特征在于,所述校正组件包括校正驱动气缸及校正固定板,所述校正驱动气缸与所述校正固定板的下表面相连,所述校正板固定于所述校正固定板的上表面。
3.如权利要求2所述的石墨舟校正装置,其特征在于,所述升降组件包括升降驱动气缸及升降板,所述升降驱动气缸固定于气缸固定板上,所述升降驱动气缸与所述升降板相连,所述升降驱动气缸带动所述升降板向上或向下移动,所述校正驱动气缸固定于所述升降板上。
4.如权利要求1所述的石墨舟校正装置,其特征在于,所述校正机构为两个,两个所述校正机构在所述移载输送线的长度方向上间隔设置。
5.如权利要求1至4任一项所述的石墨舟校正装置,其特征在于,所述前定位机构包括前定位固定底座、前定位固定支架、两个止动螺栓及两个定位滚轮,所述前定位固定支架固定于前定位固定底座上,两个所述止动螺栓分别固定于前定位固定底座上,两个定位滚轮分别固定于前定位固定支架上。
6.如权利要求5所述的石墨舟校正装置,其特征在于,所述前定位机构还包括微动开关,所述微动开关固定于所述前定位固定底座上,所述微动开关置于两个止动螺栓之间。
7.如权利要求1至4任一项所述的石墨舟校正装置,其特征在于,所述侧定位机构包括侧定位驱动组件、侧定位固定支架、侧定位板及测距传感器,所述侧定位驱动组件固定于固定平台上,所述侧定位固定支架与侧定位驱动组件相连,侧定位板固定于侧定位固定支架上,所述测距传感器固定于侧定位固定支架上,所述测距传感器的测量方向朝向石墨舟。
8.如权利要求7所述的石墨舟校正装置,其特征在于,所述侧定位驱动组件包括侧定位驱动气缸及两个侧定位滑轨,两个侧定位滑轨相对设置于侧定位驱动气缸的两侧,所述侧定位驱动与侧定位固定支架相连,侧定位固定支架的底部通过滑块与两个侧定位滑轨相连。
9.如权利要求1至4任一项所述的石墨舟校正装置,其特征在于,石墨舟校正装置还包括移载调节机构,所述移载调节机构固定于固定平台上,所述移载调节机构与所述移载输送线相连,所述移载调节机构带动所述移载输送线在所述固定平台上左右移动。
10.如权利要求9所述的石墨舟校正装置,其特征在于,所述移载调节机构包括移载调节驱动件及三个调节滑轨,两个所述调节滑轨相对设置,所述移载调节驱动件与所述移载输送线相连,所述移载输送线通过滑块与三个调节滑轨相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





