[实用新型]石墨舟校正装置有效
| 申请号: | 202121937268.X | 申请日: | 2021-08-18 |
| 公开(公告)号: | CN215869431U | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
| 发明(设计)人: | 江幺明;戴秋喜;潘加永;刘光照 | 申请(专利权)人: | 苏州映真智能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市高新区建林*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 石墨 校正 装置 | ||
本实用新型公开了一种石墨舟校正装置,包括:移载平台,石墨舟固定于移载平台上;移载输送线,移载平台置于移载输送线上,移载平台通过移载输送线输送,移载输送线固定于固定平台上;前定位机构,位于移载输送线的前端;侧定位机构,固定于所述固定平台上,位于移载输送线的一侧边;校正机构,固定于移载输送线上,校正机构包括升降组件、校正组件及校正板,校正板上设有多个间隔设置的校正拖齿,升降组件与校正组件相连,校正板与校正组件相连,相邻校正拖齿之间的间距与石墨舟的相邻舟片之间的间距相同。本申请的校正装置能够自动对变形的石墨舟的舟片进行校正,避免在装卸硅片时掉片、碎片的情况发生,且校正效率较高。
技术领域
本实用新型涉及电池片生产技术领域,更具体的说,是一种石墨舟校正装置。
背景技术
光伏行业电池片管式PECVD镀膜工艺中,需要将硅片插入石墨舟然后进行镀膜。为了提高产能,石墨舟的尺寸越做越大,尺寸越大的石墨舟其中间部位越容易变形。石墨舟变形后在装卸硅片时容易出现掉片、碎片的情况发生,为了避免上述情况的发生,目前在石墨舟使用五十次左右就必须通过人工手动对石墨舟进行校准,校准后才能继续使用。人工手动校准石墨舟费时费力,效率较低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种石墨舟校正装置,该校正装置能够自动对变形的石墨舟的舟片进行校正,避免在装卸硅片时掉片、碎片的情况发生,且校正效率较高。
其技术方案如下:
石墨舟校正装置,包括:
移载平台,石墨舟固定于移载平台上;
移载输送线,所述移载平台置于所述移载输送线上,所述移载平台通过所述移载输送线输送,所述移载输送线固定于固定平台上;
前定位机构,位于所述移载输送线的前端;
侧定位机构,固定于所述固定平台上,所述侧定位机构位于所述移载输送线的一侧边;
校正机构,固定于所述移载输送线上,所述校正机构包括升降组件、校正组件及校正板,所述校正板上设有多个间隔设置的校正拖齿,所述升降组件与所述校正组件相连,所述校正板与所述校正组件相连,所述校正板位于移载输送线的下方,相邻校正拖齿之间的间距与石墨舟的相邻舟片之间的间距相同。
进一步地,所述校正组件包括校正驱动气缸及校正固定板,所述校正驱动气缸与所述校正固定板的下表面相连,所述校正板固定于所述校正固定板的上表面。
进一步地,所述升降组件包括升降驱动气缸及升降板,所述升降驱动气缸固定于气缸固定板上,所述升降驱动气缸与所述升降板相连,所述升降驱动气缸带动所述升降板向上或向下移动,所述校正驱动气缸固定于所述升降板上。
进一步地,所述校正机构为两个,两个所述校正机构在所述移载输送线的长度方向上间隔设置。
进一步地,所述前定位机构包括前定位固定底座、前定位固定支架、两个止动螺栓及两个定位滚轮,所述前定位固定支架固定于前定位固定底座上,两个所述止动螺栓分别固定于前定位固定底座上,两个定位滚轮分别固定于前定位固定支架上。
进一步地,所述前定位机构还包括微动开关,所述微动开关固定于所述前定位固定底座上,所述微动开关置于两个止动螺栓之间。
进一步地,所述侧定位机构包括侧定位驱动组件、侧定位固定支架、侧定位板及测距传感器,所述侧定位驱动组件固定于固定平台上,所述侧定位固定支架与侧定位驱动组件相连,侧定位板固定于侧定位固定支架上,所述测距传感器固定于侧定位固定支架上,所述测距传感器的测量方向朝向石墨舟。
进一步地,所述侧定位驱动组件包括侧定位驱动气缸及两个侧定位滑轨,两个侧定位滑轨相对设置于侧定位驱动气缸的两侧,所述侧定位驱动与侧定位固定支架相连,侧定位固定支架的底部通过滑块与两个侧定位滑轨相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





