[实用新型]一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构

摘要

本实用新型公开了一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，包括有供晶圆柜体和盖板视窗，盖板视窗安装在供晶圆柜体的一端，且盖板视窗开口朝上，还包括有小型气缸和传动机构，盖板视窗的两侧均通过小型气缸与气缸安装座的上端进行连接，气缸安装座的下端与传动机构进行连接，传动机构位于盖板视窗的两侧，同时传动机构的一端与供晶圆柜体的侧边进行固定连接，传动机构的另一端与盖板视窗的侧边进行固定连接。本实用新型实现了顶盖视窗自动开关、压紧过程的自动化，无需人工干预操作，大大提高了工作效率，简化了整个操作流程，提高了装置的实用性和使用性，增强了用户的使用体验感，从而能够更好的满足使用者的使用需求。