[实用新型]一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构

权利要求书

1.一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，包括有供晶圆柜体(1)和盖板视窗(6)，所述盖板视窗(6)安装在供晶圆柜体(1)的一端，且所述盖板视窗(6)开口朝上，其特征在于，还包括有小型气缸(3)和传动机构，所述盖板视窗(6)的两侧均通过小型气缸(3)与气缸安装座(5)的上端进行连接，所述气缸安装座(5)的下端与传动机构进行连接，所述传动机构位于盖板视窗(6)的两侧，同时所述传动机构的一端与供晶圆柜体(1)的侧边进行固定连接，所述传动机构的另一端与盖板视窗(6)的侧边进行固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述传动机构包括有无杆气缸(2)、气动滑块(4)和导轨(7)，所述无杆气缸(2)和导轨(7)分别安装在供晶圆柜体(1)的两侧，且所述无杆气缸(2)的一端和导轨(7)的一端均与供晶圆柜体(1)的侧边进行固定连接，所述无杆气缸(2)的另一端和导轨(7)的另一端均与盖板视窗(6)的侧边进行固定连接，同时所述无杆气缸(2)和导轨(7)均通过气动滑块(4)与气缸安装座(5)的下端进行连接。

3.根据权利要求2所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述无杆气缸(2)和导轨(7)均为水平状态。

4.根据权利要求1所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述小型气缸(3)设置有四个，所述气缸安装座(5)的上端两侧均通过一个小型气缸(3)与盖板视窗(6)的侧边进行连接。

5.根据权利要求2所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述气动滑块(4)活动套设在无杆气缸(2)和导轨(7)的外部，同时所述气动滑块(4)的内孔径尺寸不小于无杆气缸(2)的外径尺寸和导轨(7)的外径尺寸。

6.根据权利要求2或5所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述无杆气缸(2)和小型气缸(3)上均设置有排气节流阀。

7.根据权利要求6所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，还包括有电磁阀开关和控制面板，所述控制面板电性连接电磁阀开关，所述电磁阀开关电性连接无杆气缸(2)和小型气缸(3)。