[实用新型]一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构

说明书

本实用新型公开了一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，包括有供晶圆柜体和盖板视窗，盖板视窗安装在供晶圆柜体的一端，且盖板视窗开口朝上，还包括有小型气缸和传动机构，盖板视窗的两侧均通过小型气缸与气缸安装座的上端进行连接，气缸安装座的下端与传动机构进行连接，传动机构位于盖板视窗的两侧，同时传动机构的一端与供晶圆柜体的侧边进行固定连接，传动机构的另一端与盖板视窗的侧边进行固定连接。本实用新型实现了顶盖视窗自动开关、压紧过程的自动化，无需人工干预操作，大大提高了工作效率，简化了整个操作流程，提高了装置的实用性和使用性，增强了用户的使用体验感，从而能够更好的满足使用者的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构。

背景技术

供晶圆柜体是将晶圆放入其中后自动送入反应腔的部分，目前在使用时，操作者在放入晶圆时需要松开顶盖视窗的压紧机构然后手动打开顶盖视窗后再放入晶圆，放入晶圆后再手动关上顶盖视窗，并拧紧顶盖视窗压紧机构，然后抽真空传送晶圆，操作复杂，对操作者要求较高，压紧机构的手动拧紧的程度将直接影响下一步柜体抽真空能否完成，如果真空度达不到要求则需要再次拧紧调整顶盖视窗压紧机构，而且由于顶盖视窗重量很重，手动打开需要操作者有一定力量并且存在脱手砸伤等安全隐患。此外，这种打开的方式所占用的空间过大，压缩了机器其他设备的工作空间。

实用新型内容

实用新型目的：针对由于顶盖视窗重量很重，手动打开需要操作者有一定力量并且存在脱手砸伤等安全隐患的问题，本实用新型提出一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构。

技术方案：为实现本实用新型的目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，包括有供晶圆柜体和盖板视窗，所述盖板视窗安装在供晶圆柜体的一端，且所述盖板视窗开口朝上，其特征在于，还包括有小型气缸和传动机构，所述盖板视窗的两侧均通过小型气缸与气缸安装座的上端进行连接，所述气缸安装座的下端与传动机构进行连接，所述传动机构位于盖板视窗的两侧，同时所述传动机构的一端与供晶圆柜体的侧边进行固定连接，所述传动机构的另一端与盖板视窗的侧边进行固定连接。

更进一步地讲，所述传动机构包括有无杆气缸、气动滑块和导轨，所述无杆气缸和导轨分别安装在供晶圆柜体的两侧，且所述无杆气缸的一端和导轨的一端均与供晶圆柜体的侧边进行固定连接，所述无杆气缸的另一端和导轨的另一端均与盖板视窗的侧边进行固定连接，同时所述无杆气缸和导轨均通过气动滑块与气缸安装座的下端进行连接。

更进一步地讲，所述无杆气缸和导轨均为水平状态。

更进一步地讲，所述小型气缸设置有四个，所述气缸安装座的上端两侧均通过一个小型气缸与盖板视窗的侧边进行连接。

更进一步地讲，所述气动滑块活动套设在无杆气缸和导轨的外部，同时所述气动滑块的内孔径尺寸不小于无杆气缸的外径尺寸和导轨的外径尺寸。

更进一步地讲，所述无杆气缸和小型气缸上均设置有排气节流阀。

更进一步地讲，还包括有电磁阀开关和控制面板，所述控制面板电性连接电磁阀开关，所述电磁阀开关电性连接无杆气缸和小型气缸。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下有益技术效果：

(1)本实用新型通过无杆气缸、气动滑块和小型气缸三者的配合使用，实现了顶盖视窗自动开关、压紧过程的自动化，同时将翻转打开改变为水平垂直打开，无需人工干预操作，大大提高了工作效率，减少了设备空间的占用，并且减少了人工操作会带来的操作失误及操作不当，简化了整个操作流程，提高了装置的实用性和使用性，增强了用户的使用体验感，从而能够更好的满足使用者的使用需求；

(2)本实用新型取代了传统的顶盖视窗压紧机构，大大降低了手动拧紧压紧机构造成的密封不完全的可能性，能有效提高效率，节省操纵者繁重的开关动作。