[实用新型]一种晶圆表面缺陷检测装置有效
| 申请号： | 202121812835.9 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN215640914U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 陈壮;沈皓光;迟祖超;李萌珂 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/94;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 高园园 |
| 地址： | 266500 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆表面缺陷检测装置，所述晶圆表面缺陷检测装置中的射灯包括第一射灯、第二射灯、第三射灯以及第四射灯，四种射灯能够发出不同颜色的光，使晶圆表面的缺陷能够明显呈现出来，即使通过人工目检的方式也能轻易识别出晶圆表面不同种类的缺陷；其次，射灯中各部件的相对位置可调节，能够在保证整个检测装置占地面积较小的前提下形成更大范围的照射面积，使发出的光全面覆盖晶圆表面，且具有一定的调整灵活性；最后，所述检测装置内置有自动光学检测系统(Auto Optical Inspection，AOI)，能够自动捕捉晶圆表面各种类型的缺陷，并将其更直观地呈现出来，保证了最终检测结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
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