[实用新型]一种晶圆表面缺陷检测装置

说明书

本实用新型提供一种晶圆表面缺陷检测装置，所述晶圆表面缺陷检测装置中的射灯包括第一射灯、第二射灯、第三射灯以及第四射灯，四种射灯能够发出不同颜色的光，使晶圆表面的缺陷能够明显呈现出来，即使通过人工目检的方式也能轻易识别出晶圆表面不同种类的缺陷；其次，射灯中各部件的相对位置可调节，能够在保证整个检测装置占地面积较小的前提下形成更大范围的照射面积，使发出的光全面覆盖晶圆表面，且具有一定的调整灵活性；最后，所述检测装置内置有自动光学检测系统(Auto Optical Inspection，AOI)，能够自动捕捉晶圆表面各种类型的缺陷，并将其更直观地呈现出来，保证了最终检测结果的准确性。

技术领域

本实用新型涉及图像检测技术领域，具体涉及一种晶圆表面缺陷检测装置。

背景技术

随着集成电路制造技术的飞速发展，晶圆表面缺陷已成为影响其良率的主要原因，因此，晶圆表面缺陷的检测是工艺过程中的重要一环。

在现有技术中，一般是将晶圆置于一个单一光源下，通过人工目检的方式观察表面是否存在灰尘或脏污或划痕等缺陷。然而，对于一些尺寸较小的晶圆，缺陷的尺寸也相应较小，传统的检测方法明显不能满足高精度、高效率的需求；此外，在晶圆的生产过程中可能会在晶圆表面产生不同种类的缺陷，但并非所有缺陷都能通过单一光源显现出来，而是需要不同的光源进行照射。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型提出一种晶圆表面缺陷检测装置，所述检测装置的射灯包括第一射灯、第二射灯、第三射灯以及第四射灯，四种射灯能够发出不同颜色的光，使晶圆表面的缺陷能够明显呈现出来，即使通过人工目检的方式也能轻易识别出晶圆表面不同种类的缺陷；其次，射灯中各部件的相对位置可调节，能够在保证整个检测装置占地面积较小的前提下形成更大范围的照射面积，使发出的光全面覆盖晶圆表面，且具有一定的调整灵活性；最后，所述检测装置内置有自动光学检测系统(Auto OpticalInspection，AOI)，能够自动捕捉晶圆表面各种类型的缺陷，并将其更直观地呈现出来，保证了最终检测结果的准确性。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提出一种晶圆表面缺陷检测装置，所述晶圆表面缺陷检测装置包括：

基座；

立柱，垂直设置于所述基座表面；

悬挂杆，与所述立柱连接，且与所述立柱形成一夹角α；

射灯，所述悬挂杆上安装有多个所述射灯，多个所述射灯发出两种以上颜色的光线。

可选地，所述基座表面设置有脚踏开关。

可选地，所述立柱与所述悬挂杆通过连接件连接。

可选地，所述夹角α的可调范围介于30°～150°。

可选地，多个所述射灯包括第一射灯、第二射灯、第三射灯以及第四射灯，所述第一射灯、第二射灯、第三射灯、第四射灯自所述悬挂杆靠近所述立柱的一端至远离所述立柱的一端依次设置。

可选地，所述射灯包括固定件、第一夹持件、第二夹持件及第三夹持件。

可选地，所述射灯通过固定件与所述悬挂杆连接。

可选地，所述第一夹持件与所述固定件可调节地连接，且所述第一夹持件的底部固定有所述第二夹持件。

可选地，所述第二夹持件内部固定有LED灯组。

可选地，所述第三夹持件与所述第一夹持件可调节地连接，且所述第三夹持件底部固定有透镜。

可选地，所述透镜为圆形菲涅尔透镜。

可选地，所述第一射灯发出的光为波长范围介于450nm-460nm的白光。

可选地，所述第二射灯发出的光为波长570nm的黄光。