[实用新型]一种晶圆表面缺陷检测装置

权利要求书

1.一种晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，包括：

基座；

立柱，垂直设置于所述基座表面；

悬挂杆，与所述立柱连接，且与所述立柱形成一夹角α；

射灯，所述悬挂杆上安装有多个所述射灯，多个所述射灯发出两种以上颜色的光线。

2.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述基座表面设置有脚踏开关。

3.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述立柱与所述悬挂杆通过连接件连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述夹角α的可调范围介于30°～150°。

5.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，多个所述射灯包括第一射灯、第二射灯、第三射灯以及第四射灯，所述第一射灯、第二射灯、第三射灯、第四射灯自所述悬挂杆靠近所述立柱的一端至远离所述立柱的一端依次设置。

6.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述射灯包括固定件、第一夹持件、第二夹持件及第三夹持件。

7.根据权利要求6所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述射灯通过固定件与所述悬挂杆连接。

8.根据权利要求6所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第一夹持件与所述固定件可调节地连接，且所述第一夹持件的底部固定有所述第二夹持件。

9.根据权利要求8所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第二夹持件内部固定有LED灯组。

10.根据权利要求6所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第三夹持件与所述第一夹持件可调节地连接，且所述第三夹持件底部固定有透镜。

11.根据权利要求10所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述透镜为圆形菲涅尔透镜。

12.根据权利要求5所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第一射灯发出的光为波长范围介于450nm-460nm的白光。

13.根据权利要求5所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第二射灯发出的光为波长570nm的黄光。

14.根据权利要求5所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第三射灯发出的光为波长595nm的黄绿光。

15.根据权利要求5所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第四射灯发出的光为波长395nm的紫光。

16.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述立柱上设置有一挂钩，所述挂钩位于所述悬挂杆下方。

17.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述立柱的高度可以在1.2m～1.3m范围之间调节。

18.根据权利要求5所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，还包括摄像头，所述摄像头固定于所述悬挂杆上，且位于所述第二射灯与第三射灯的中间位置。

19.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，还包括显示屏，所述显示屏位于所述立柱的顶部，所述显示屏内设置有自动光学检测系统。